SE-D系列半导体超纯水机
SE-D200型200L/H
一、产品说明
SE-D系列电子级超纯水机，是仟净专为半导体行业，光学清洗开发的一款中型半导体制水系统，处理水量200L-600L/H，用于小批量生产、实验室检测等，可选配物联网远程操控功能
二、出水水质主要指标：
1、设计水源:地下水，自来水，浊度<5NTU，电导率值<500us/cm。
2、出水标准:
在线电阻率：>18.2MΩ.cm(25℃)；
金属离子:(Na、Fe、Cu、 Ca、K )≤10PPt;
颗粒：≥0.1um ≤1个/ml；
TOC：<10ppb。
三、产品技术参数
设备名称 | SE-D半导体超纯水机 | 进水要求 | 自来水 |
品牌 | QCLEAN仟净 | 进水温度 | 常温（20－30℃） |
型号 | SE-D200 | 额定进水电导率 | <500us/cm |
控制方式 | 全自动 | 额定产水产量 | 200L/H |
额定电源 | 380V/AC | 额定功率 | 3.5KW |
进水压力 | 0.3-0.5MPa | 工作压力 | 1.0-1.5MPA |
四、设备主要工艺及主要配置
双级RO+EDI+UV+除TOC+脱气+双级DI+MF
基本配置 |
原水增压泵 | 1套 |
自动砂过滤器(FRP) | 1套 |
自动碳过滤器(FRP) | 1套 |
保安过滤器5UM | 1套 |
静音高压泵 | 1套 |
BERLEAN高脱盐RO膜 | 1套 |
纯水箱及供水泵 | 选配 |
水质监测表 | 2台 |
水质不合格报警器 | 1套（选配） |
配套仪器仪表保护装置 | 1套 |
五、应用范围
1. 半导体实验室用水，清洗车间、抛磨车间用水;
2. 晶圆切割、芯片封测用水，光学产品清洗;
3. 研磨材料、洗板水，显影液用水;
4. PCW冷却循环水，半导体辅料、新能源材料用水;
5. 载具清洗用水，超声波/兆声波清洗用水。
